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泰曼格林干涉仪原理如下图所示:mirror 1为平面反射镜;mirror 2 是振幅为1μm的慧差。
设置仿真参数为:
Z 1 = 50 c m {{Z}_{1}}=50cm Z1=50cm; Z 2 = Z 3 = 40 c m {{Z}_{2}}={{Z}_{3}}=40cm Z2=Z3=40cm; Z 4 = 100 c m {{Z}_{4}}=100cm Z4=100cm;
此时分束镜分光比为3:7
仿真过程:
1) 定义初始光波,以及定义光波孔径大小。
2) 模拟光传播至分束镜
3) 分束镜3:7的光强衰减模拟
4) 光束传播至mirror1; (参考光)
5) 光束传播至mirror2 (物光)
6) mirror2上的像差模拟(被测物体模拟)此时可换成任意被测物体!
7) 模拟物光反射
8) 参考光光束返回至分束镜
9) 物光光束返回至分束镜
10) 光束叠加(参考光+物光)
11) 光束传播至CCD屏幕
12) 计算光强
仿真结果如下:
上述仿真程序可从以下链接处获取:
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