NEDA工具介绍

作者：空白诗007 | 2024-08-11 23:34:17

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NEDA工具介绍

需要软件的同学后台私信我，仅供学习使用。

NEDA工具，可针对量产晶圆进行数据分析，包括原始数据、制程能力报告、柏拉图、直方图、趋势图、散点图、箱图、相关性等可形成wafer_map及参数map、叠片map。

一、初始化界面

将该工具打开后初始化界面如下图1所示。

图1、软件初始化界面

如图2所示，点击加载对应STDF数据

图2、Load数据

如图3点击“开始解析”，可完成数据的解析

图3、解析数据

如图4，可从总览处看出该张晶圆的良率，以及每一个bin中fail的芯片数量

图4、晶圆良率

原始数据中包含每一颗芯片的详细测试信息，如图5所示，可通过此处查到芯片在晶圆上的坐标及具体Fail的case

图5、查看原始数据

如图6、图7，可针对具体的测试项分别建立直方图和趋势图进行数据分析

图6、直方图

图7、趋势图

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