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芯片是现代信息技术发展的重要支柱,半导体设备则是芯片产业发展的重要基石。近年来,半导体设备领域开启了国产自研的黄金浪潮,其中,测试机作为芯片测试中至关重要的核心设备之一,国产自研率较低,一直是国内半导体设备行业亟待补齐的核心短板。
在刚刚落幕的SEMICON China 2024 展会上,加速科技不仅展示了系列拳头产品,更带来了一款备受瞩目的新产品——全自研高性能数模混合信号测试设备ST2500EX。这款设备目前已量产,性能成熟稳定,媲美进口先进机型,具备卓越的高密度、高效率、高性价比等特点。当前,ST2500EX已批量入驻测试生产一线服务客户进行量产工作。
图|ST2500EX高性能数模混合信号测试设备
01 硬件资源
高性能数模混合信号测试设备ST2500EX,集成数字、模拟信号测试功能。单机台最高支持32块板卡,最高支持1024 I/O通道。设备采用Direct Docking连接方式,在大幅提升晶圆测试稳定性的同时,兼容J Type针卡,可帮助客户降低转平台治具成本。ST2500EX还具有灵活的可扩展性,为后期扩展混合信号模块、射频模块奠定了良好基础。此外,该设备兼容ST2500的功能板卡,支持250Mbps/500Mbps测试速率,面向高速多通道测试场景,具有极高性价比。
图|CP测试示意图
02 业务板卡
功能集成、测试精度、响应速度、可拓展性是测试设备的技术核心,同时,测试设备在电流、电压、电容、时间量等参数方面的测试精度、测试速度、通道和工位数也是重要的考量指标。ST2500EX在这些指标上都有着出众的表现。
图|ST2500EX演示高速信号测试
ST2500EX配置了DFB32、SMU20、MWB8等资源板卡。DFB32全功能业务板采用先进的FPGA实现,单板集成数字模拟混合信号功能,包含32个250Mbps/500Mbps数字通道,每通道192M Vector存储深度,4路DPS,4路100MHz TMU,1路2MSPS AWG,1路1MSPS DGT。在实现高性能实时测试和数据传输的同时,更实现了高精度测量。
MWB8 音频板支持 8chAWG,8chDGT 并行测试,支持差分/单端配置。板卡 AWG
通道 THD 最高可达-125dB@1V RMS,1kHz,SNR 最高可达 115dB@3.5V RMS 1KHz , 22kHz Bandwidth;输出电压的最大范围为 4V。DGT 支持差分输入,24位分辨率,256kSPS采样率;输入电压范围+/-6V,在0.5dBFS/sinewave/1KHz/with DPD/6Vrange条件下,SNR 最高105 dB,THD-115dB。
SMU20 模块有 4ch 完全独立的电压电流源,提供精密四象限恒压、恒流、测压、测流功能。电压最大范围±20V,电流最大范围±500mA。SMU20 同时支持 4ch Gang 使用,最高可以提供 2A 的电流。
03 测试软件系统
ST2500EX数模混合信号测试设备提供一整套基于Windows系统的集成开发软件。ST-IDE软件提供用户友好的开发环境,丰富的开发和调试工具(AWG、DGT、Pattern、LA等),缩短产品开发调试到量产交付生产周期。
该软件系统配套丰富的pattern转换工具,方便WGL、STIL、VCD等仿真文件转换为测试机pattern,同时支持友商平台pattern 转换,有效提高调试效率。
针对工厂量产提供专门GUI,数据实现显示监控,提供丰富的数据记录分析工具,支持定制化工厂系统测试方案,方便批量测试和对接工厂管理系统。
智能软硬件监控系统,提供故障代码,精确定位软硬件故障位置。
04 应用场景
该测试设备可以广泛应用于SOC/MCU、FLASH、EEPROM、Logic、LED Driver、CIS、PMIC等半导体晶圆、 器件测试和模块系统级测试。
未来,加速科技将继续深耕半导体测试技术领域,加大创新研发力度,跟随产业发展潮流,不断推动产品迭代和技术升级,持续为客户提供高性价比测试解决方案,赋能半导体产业发展。
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