半导体器件和工艺模拟：使用Silvaco设计构建NMOS并提取各项工艺及器件参数_silvaco仿真

半导体器件和工艺模拟

使用Silvaco设计构建NMOS并提取各项工艺及器件参数

一、目的：

1、熟练氧化、离子注入与扩散工艺，使用Silvaco软件进行模拟

2、掌握nmos工艺流程。

3、学会用Silvaco软件提取MOS晶体管的各种参数

4、掌握MOS晶体管器件模拟

二．要求

1.用Anthena构建一个NMOS管，要求沟道长度不小于0.8微米，阈值电压在-0.5v 至 1V之间，要说明在工艺中如何调整阈值电压并在模拟结果中有所体现。

2.工艺模拟过程要求提取S/D结结深、阈值电压、沟道表面掺杂浓度、S/D区薄层电阻等参数。

3.进行器件模拟，要求得到NMOS输出特性曲线族以及特定漏极电压下的转移特性曲线，并从中提取MOS管的阈值电压和β值。

4.分析各关键工艺步骤对器件性能的影响。

三．步骤：

1、启动silvaco软件。

2、创建一个网格并定义衬底的参数。

3、由于本实验运用了cmos工艺，所以先在衬底上做一个p阱，严格定义p阱的浓度，注入能量，以及阱区的推进。

4、生长栅氧化层，严格控制各参数。

diffus time=10 temp=950 dryo2 press=1.00 hcl.pc=3

5、淀积多晶硅，其厚度为0.2um。

6、刻蚀掉x=0.35左面的多晶硅，然后低剂量注入磷离子，形成轻掺杂层，剂量为3e13，能量为20kev。

7、淀积氧化层，然后再进行刻蚀，以进行下一步的源漏区注入。

8、进行源漏砷离子的注入，剂量为4e15，能量为40kev。

9、淀积铝，形成S/D金属接触。

10、进行向右镜像操作，形成完整的nmos结构并定义电极。

11、抽取源漏结深，阈值电压，n+区薄层电阻，沟道表面掺杂浓度，轻掺杂源漏区的薄层电阻等参数。

12、描述输出特性曲线并绘出。

13、描述转移特性曲线并绘出，同时从中提取MOS管的阈值电压和β值。

四、结果及分析

1、工艺图

由图可见，此NMOS沟道长度不小于0.8微米，符合要求。

2、工艺过程：

（1）定义矩形网格：

#定义X网格

line x loc=0 spac=0.1

line x loc=0.2 spac=0.006

line x loc=0.6 spac=0.006

#定义Y网格

line y loc=0.00 spac=0.002

line y loc=0.2 spac=0.005

line y loc=0.5 spac=0.05

line y loc=0.8 spac=0.15

（2）定义初始硅并氧化：100 晶向，作为P 型衬底，用硼掺杂，掺杂浓度为1e14，之后制作栅氧化层：把硅片放在950摄氏度，干氧，一个大气压下掺氯（氯化氢）氧化10分钟，结果如下：

（3）调整阈值电压，离子注入，注入硼离子，剂量为2e12，能量为10KeV：

 （4）淀积Poly层后进行栅刻蚀:刻蚀掉x=0.35左面的多晶硅，结果如下：

（5）湿氧氧化后进行轻掺杂，轻掺杂使用离子注入，注入磷离子，剂量为3e13，能量为20KeV，之后沉积氧化层再进行干刻蚀，以进行下一步的源漏区注入 ，其结果如下：

（6）进行源漏砷离子的注入，重掺杂，剂量为4e15，能量为40KeV，掺杂完成后进行快速退火，结果如下：

（7）下面处理漏源极，先刻蚀掉x=0.1以左的氧化层 ，再刻蚀掉一个矩形,把栅极多晶硅上面的氧化层刻蚀掉，以便于之后与金属接触制作电极。我蚀刻掉了（0.357,-0.15）->(0.6,-0.15)->(0.6,-0.3)->(0.357,-0.3)区域内的氧化层，结果如下：

（8）在表面淀积铝之后，刻蚀掉一个矩形区域的铝，留下金属电极。我蚀刻掉了（0.35,0.1）->(0.1,0.1)->(0.1,-0.4)->(0.35,0.4)区域内的铝，结果如下：

（9）进行镜像和电极定义，镜像对称并保存镜像结构后，完整的NMOS如下：

至此，完整的NMOS设计工艺过程结束。

3、器件仿真结果及参数特性分析：

（1）结深：

结深测量语句：extract name="nxj" xj silicon mat.occno=1 x.val=0.1 junc.occno=1

测量结果：

EXTRACT> extract name="nxj" xj silicon mat.occno=1 x.val=0.1 junc.occno=1

nxj=0.882642 um from top of first Silicon layer X.val=0.1

（2）测量沟道阈值电压

沟道阈值电压测量语句：

extract name="n1dvt" 1dvt ntype vb=0.0 qss=1e10 x.val=0.49

测量结果：

EXTRACT> extract name="n1dvt" 1dvt ntype vb=0.0 qss=1e10 x.val=0.49

n1dvt=0.953742 V X.val=0.49

（3）沟道表面掺杂浓度

沟道表面掺杂浓度测量语句：

extract name="chan surf conc" surf.conc impurity="Net Doping" \

material="Silicon" mat.occno=1 x.val=0.45

测量结果：

EXTRACT> extract name="chan surf conc" surf.conc impurity="Net Doping"

chan surf conc=8.22657e+020 atoms/cm3

（4）获取S/D区薄层电阻

获取语句：

extract name="n++ sheet rho" sheet.res material="Silicon" mat.occno=1 x.val=0.05 region.occno=1

获取结果：

EXTRACT> #extract the N++ regions sheet resistance

EXTRACT> extract name="n++ sheet rho" sheet.res material="Silicon" mat.occno=1 x.val=0.05 region.occno=1

n++ sheet rho=40.5223 ohm/square X.val=0.05

（5）NMOS输出特性曲线

上图为该器件仿真 Id-VDS曲线（输出特性曲线）的结果，由图可知：

1、由理论知识得，当栅极电压小于NMOS阈值电压时，没有导电沟道形成，无论VDS取值如何，均不会有漏极电流：图中红色输出曲线是栅压为0.5V时（NMOS截止）的输出曲线。

2、当栅极电压大于NMOS阈值电压时，在栅极下方的衬底会出现反型层，从而形成导电沟道，此时在漏源区加上电压VDS，就会产生漏极电流。

3、当VDS较小时，漏极电流随VDS呈线性增长，此时 MOSFET 工作在线性区。

4、继续增大VDS，一定程度后导电沟道会被夹断，此后Id不再随VDS的增大而变化，Id只与栅极电压VGS有关，此时MOSFET 工作在饱和区。（上方除红色曲线外三条输出曲线分别是栅极电压为1.1V、2.2V、3.3V 时的输出特性曲线，说明 NMOS 的输出特性曲线随栅极电压的不同而变化。）

由仿真结果可知，NMOS输出特性与理论分析相符。

（6）NMOS转移特性曲线：

上图为漏极电压VDS恒定时的 Id-VGS 曲线（转移特性曲线），由曲线可以看出：

1、当VDS一定时，栅压很小的时候不存在导电沟道，NMOS截止。

2、随着栅极电压VGS的增大，P型衬底将出现反型层，当VGS大于NMOS阈值电压时，导电沟道出现且宽度变宽，载流子浓度随VGS的增大而增加，VDS呈线性增长。

由仿真结果可以看出， NMOS转移特性与理论分析相符。

（7）提取MOS管的阈值电压

EXTRACT>extract name="nvt"(xintercept(maxslope(curve(abs(v."gate"),

abs(i."drain"))))- abs(ave(v."drain"))/2.0)

nvt=0.751552

可见此NMOS阈值电压在-0.5v 至 1V之间，符合要求。

（8）提取参数

1、nxj=0.882642 um

2、n1dvt=0.953742 V 

3、chan surf conc=8.22657e+020 atoms/cm3

4、n++ sheet rho=40.5223 ohm/square

5、nvt=0.751552 6、nbeta=0.000173251

附录

实验程序代码块如下：

go athena
 
#定义X网格
 
line x loc=0 spac=0.1
 
line x loc=0.2 spac=0.006
 
line x loc=0.65 spac=0.006
 
#定义Y网格
 
line y loc=0.00 spac=0.002
 
line y loc=0.2 spac=0.005
 
line y loc=0.5 spac=0.05
 
line y loc=1.0 spac=0.15
 
#定义初始硅：100 晶向，作为P 型衬底，用硼掺杂，掺杂浓度为1e14
 
init silicon c.boron=1e14 orientation=100 space.mul=2 two.d
 
#制作栅氧化层：把硅片放在950摄氏度，干氧，一个大气压下掺氯（氯化氢）氧化10分钟
 
diffus time=10 temp=950 dryo2 press=1.00 hcl.pc=3
 
#抽取栅氧化层厚度
 
extract name="gateox" thickness oxide mat.occno=1 x.val=0.3
 
#调整阈值电压，离子注入，注入硼离子
 
implant boron dose=2e12 energy=10 pearson
 
#淀积Poly层
 
depo poly thick=0.25 divi=10
 
#栅刻蚀:刻蚀掉x=0.35左面的多晶硅
 
etch poly left p1.x=0.35
 
#湿氧氧化为轻掺杂做准备
 
diffuse time=3 temp=900 weto2
 
#轻掺杂离子注入，注入磷离子，形成轻掺杂层，剂量为3e13，能量为20kev
 
implant phosphor dose=3e13 energy=20 tilt=0 rotation=0
 
#沉积氧化层再进行干刻蚀，以进行下一步的源漏区注入
 
depo oxide thick=0.120 divisions=8
 
etch oxide dry thick=0.120
 
#进行源漏砷离子的注入，剂量为4e15，能量为40kev
 
implant arsenic dose=4.0e15 energy=40 tilt=0 rotation=0
 
#快速退火
 
method fermi
 
diffus time=1 temp=900 nitro press=1.00
 
#下面处理漏源极
 
#刻蚀掉x=0.1以左的氧化层
 
etch oxide left p1.x=0.1
 
#刻蚀掉一个矩形,把栅极多晶硅上面的氧化层刻蚀掉，我写的下面四句蚀刻掉了（0.357,-0.15）->(0.6,-0.15)->(0.6,-0.3)->(0.357,-0.3)区域内的氧化层
 
etch oxide start x=0.357 y=-0.15
 
etch cont x=0.65 y=-0.15
 
etch cont x=0.65 y=-0.3
 
etch done x=0.357 y=-0.3
 
#沉积铝
 
deposit alumin thick=0.1 div=20
 
#刻蚀掉一个矩形区域的铝，我写的下面四句蚀刻掉了（0.35,0.1）->(0.1,0.1)->(0.1,-0.4)->(0.35,0.4)区域内的铝
 
etch alumin start x=0.35 y=0.1
 
etch cont x=0.1 y=0.1
 
etch cont x=0.1 y=-0.4
 
etch done x=0.35 y=-0.4
 
#接下来进行结果分析的提取，查看器件特性
 
#Extract design parameters
 
#extract final S/D Xj
 
extract name="nxj" xj silicon mat.occno=1 x.val=0.1 junc.occno=1
 
#extract the N++ regions sheet resistance
 
extract name="n++ sheet rho" sheet.res material="Silicon" mat.occno=1 x.val=0.05 region.occno=1
 
#extract the sheet rho under the spacer,of the LDD region
 
extract name="ldd sheet rho" sheet.res material="Silicon"
 
mat.occno=1 x.val=0.3 region.occno=1
 
#extract the surface conc under the channel.
 
extract name="chan surf conc" surf.conc impurity="Net Doping"
 
material="Silicon" mat.occno=1 x.val=0.45
 
#extract a curve of conductance versus bias.
 
extract start material="Polysilicon" mat.occno=1
 
bias=0.0 bias.step=0.2 bias.stop=2 x.val=0.45
 
extract done name="sheet cond v bias"
 
curve(bias,1dn.conduct material="Silicon" mat.occno=1 region.occno=1)
 
outfile="extract.dat"
 
#extract the long chan Vt
 
extract name="n1dvt" 1dvt ntype vb=0.0 qss=1e10 x.val=0.49
 
#接下来进行镜像和电极定义
 
#镜像对称
 
structure mirror right
 
#保存镜像结构，完整的nMOS
 
structure outfile=mirror.str
 
electrode name=gate x=0.5 y=-0.2
 
electrode name=source x=0.05 y=0
 
electrode name=drain x=1.30 y=0
 
electrode name=substrate backside
 
#工艺仿真器件制作完成，保存到我的LiTianhao-NMOS1_athena.str文件中
 
structure outfile=LiTianhao-NMOS1_athena.str
 
tonyplot LiTianhao-NMOS1_athena.str
 
#接下来进行器件物理特性分析，先求栅压为1.1V,2.2V,3.3V时，漏电流与漏电压的关系，即进行CVT分析
 
go atlas
 
# 定义栅极功能，N型接触
 
contact name=gate n.poly
 
# 定义栅氧化层正电荷为3e10
 
interface qf=3e10
 
# 使用CVT模型分析 MOS
 
models cvt srh print numcarr=2
 
# 设置栅极偏置，同时设置Vds=0V
 
solve init
 
solve vgate=0.5 outf=solve_tmp0_LiTianhao
 
solve vgate=1.1 outf=solve_tmp1_LiTianhao
 
solve vgate=2.2 outf=solve_tmp2_LiTianhao
 
solve vgate=3.3 outf=solve_tmp3_LiTianhao
 
#加载文件和步进Vd
 
load infile=solve_tmp0_LiTianhao
 
log outf=LiTianhao_MOSLEX_0.log
 
solve name=drain vdrain=0 vfinal=3.3 vstep=0.3
 
load infile=solve_tmp1_LiTianhao
 
log outf=LiTianhao_MOSLEX_1.log
 
solve name=drain vdrain=0 vfinal=3.3 vstep=0.3
 
load infile=solve_tmp2_LiTianhao
 
log outf=LiTianhao_MOSLEX_2.log
 
solve name=drain vdrain=0 vfinal=3.3 vstep=0.3
 
load infile=solve_tmp3_LiTianhao
 
log outf=LiTianhao_MOSLEX_3.log
 
solve name=drain vdrain=0 vfinal=3.3 vstep=0.3
 
# 提取最大漏极电流和β值（斜率）
 
extract name="nidsmax" max(i."drain")
 
extract name="sat_slope" slope(minslope(curve(v."drain",i."drain")))
 
tonyplot -overlay -st LiTianhao_MOSLEX_0.log LiTianhao_MOSLEX_1.log LiTianhao_MOSLEX_2.log LiTianhao_MOSLEX_3.log
 
#接下来进行Vt 测试：返回 Vt、Beta 和 θ
 
go atlas
 
#建立材料模型
 
models cvt srh print
 
contact name=gate n.poly
 
interface qf=3e10
 
method gummel newton
 
solve init
 
# 漏极给偏置电压
 
solve vdrain=0.1
 
# 栅压步进
 
log outf=LiTianhao-Vt.log master
 
solve vgate=0 vstep=0.25 vfinal=3.0 name=gate
 
save outf=LiTianhao-Vt.str
 
tonyplot LiTianhao-Vt.log
 
#提取器件参数
 
extract name="nvt"(xintercept(maxslope(curve(abs(v."gate"),abs(i."drain"))))- abs(ave(v."drain"))/2.0)
 
extract name="nbeta" slope(maxslope(curve(abs(v."gate"),abs(i."drain"))))* (1.0/abs(ave(v."drain")))
 
extract name="nsubvt" 1.0/slope(maxslope(curve(abs(v."gate"),log10(abs(i."drain")))))
 
quit